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大行程纳米级三坐标平台的精度控制方法

发布时间:2016-12-29
       提高平实现的纳米级精度的大行程三坐标平台广泛采用了粗精串联的结构,大行程驱动技术实现较大的运动行程;利用微动驱动技术进行三坐标平台的误差补偿,完成运动三坐标平台复杂的精密定位控制。在此三坐标平台上,预留了安装PI公司的P587型大行程、六自由度、单模块压电陶壳的纳米级精度的徽动三坐标平台,以便为达到更高的精度,对三坐标精密三坐标平台的运动误差进行补偿.超精密运动拉制的最终精度需要靠超精密浏量系统提供闭环位置控制,按照国外精度分析结论,实现10mm、运动定位精度,需要提供能达到2vm精度的测量系统.能够在如此大的行程上达到这么高的浏量精度的测量手段只有双倾激光干涉仪,在设计中们也考虑了激光测量系统的安装。通过3个方向的位移传感器可对三坐标平台的运动和姿态实现完全的反馈控制.

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